“MEMS先生”Kurt Petersen

Kurt Petersen因其在微机电系统（MEMS）领域的卓越贡献，荣获2019年IEEE荣誉奖章。他被誉为“MEMS先生”，是该领域的奠基人之一。彼得森的开创性工作始于1982年，当时他发表了具有里程碑意义的论文《硅作为机械材料》。这篇论文详细阐述了硅的机械性能，并概述了当时基于硅的机械设备，同时预见了未来可能的发展方向。这篇论文统一了当时分散的MEMS研究，为该领域的研究人员提供了一个共同的愿景和方向。

开创性研究与技术创新

Petersen不仅在学术界有着深远影响，他还在商业化MEMS技术方面做出了巨大贡献。他共同创立了六家公司，将MEMS技术推向市场。这些公司包括NovaSensor、Cepheid、SiTime、Profusa和Verreon。

在NovaSensor，Petersen领导开发了一次性血压传感器，用于手术期间和术后的血压监测。NovaSensor还率先商业化了硅融合键合和深反应离子刻蚀（DRIE）工艺，这些工艺如今被广泛应用于高产量的MEMS产品中。

Cepheid公司是Petersen的另一重要成就，他在这里开发了全自动微流控系统，用于检测邮件中的炭疽菌。Cepheid还推出了利用微流控和聚合酶链反应（PCR）技术的分子诊断测试，彻底改变了分子诊断行业。

Petersen在SiTime公司担任创始首席执行官，该公司开发的MEMS设备在定时应用中优于传统的石英晶体振荡器，广泛应用于许多消费类电子设备中。Profusa公司推出的柔性水凝胶植入物用于葡萄糖检测，正在改变医疗行业对体内化学物质测量的思考方式。Verreon公司则专注于在玻璃基板上开发MEMS传感器和执行器，旨在利用成本效益并在平板显示行业中应用。

社区建设与学术贡献

除了在技术开发和商业化方面的成就，Petersen还为MEMS学术和工业社区做出了重要贡献。他创办了多个交流平台，如1984年首次举办的固态传感器、执行器和微系统区域研讨会，以及1987年首届国际MEMS会议。这些论坛为学术界、工业界和政府研究人员提供了分享和讨论工作的机会，促进了该领域的交流与合作。

历史意义

Petersen的工作对MEMS领域和现代科技产生了深远的影响。他的研究和技术创新奠定了MEMS发展的基础，推动了该技术在医疗、通信、消费电子等领域的广泛应用。他创立的公司和开发的产品展示了MEMS技术的巨大潜力和多样性，使之成为现代科技不可或缺的一部分。

Petersen的成就不仅仅在于技术上的突破，更在于他对整个MEMS社区的贡献和推动。通过他的努力，MEMS从一个分散的研究领域发展成为一个蓬勃发展的工业和学术领域，影响了无数应用和技术的发展。

Petersen无疑是MEMS领域的先驱，他的开创性工作和无数贡献为现代科技的发展奠定了坚实的基础。他获得2019年IEEE荣誉奖章，实至名归。这一荣誉不仅是对他个人成就的肯定，也是对他在MEMS领域中所做贡献的最高赞誉。

了解更多详情，请访问IEEE Spectrum文章: https://spectrum.ieee.org/kurt-petersen-2019-ieee-medal-of-honor-recipient-is-mr-mems。