半导体

MEMS电感器在微纳技术领域广泛应用。1990年后这些相关领域的研究工作爆发式展开。

大多数微机电系统（MEMS）设备必须与集成电路（ICs）结合使用，才能在更大的电子系统中运行。微系统与纳米工程杂志回顾了传统的方法以及创新和新兴的MEMS和IC集成方法。

微机电系统（MEMS）技术非常多样化，但其设备设计和制造工艺依赖于目标应用。自然电子学(Nature Electronics)杂志刊文推动基于共享设施的开放合作可以加速MEMS的商业化。

Petersen的论文《硅作为机械材料》是一部开创性的作品，影响了后续的研究和开发，巩固了硅在电子学和现代机械应用中的基本材料地位。

无线射频通信领域的一个前沿课题是100GHz以上的频率，通常被称为太赫兹（THz）。主流研究包括D波段（110-170GHz），以及由IEEE 802.15.3d标准定义的更高频段（252-322GHz）。这些频率远远超出了今天Wi-Fi和5G标准中包含的最高毫米波频段。

精准的时钟同步对于导航、通信和雷达系统至关重要。自然杂志展示了一种能够将光转换为微波的紧凑芯片，减少了功耗，并使其更适用于日常设备的使用。这种芯片可能会改善全球定位系统（GPS）、手机和互联网连接的质量、雷达和传感系统的精确性，以及其他依赖于高精度时间和通信的技术。