大多数微机电系统(MEMS)设备必须与集成电路(ICs)结合使用,才能在更大的电子系统中运行。微系统与纳米工程杂志回顾了传统的方法以及创新和新兴的MEMS和IC集成方法。
半导体专栏作家
Petersen的论文《硅作为机械材料》是一部开创性的作品,影响了后续的研究和开发,巩固了硅在电子学和现代机械应用中的基本材料地位。
MEMS陀螺仪基于科里奥利力(Coriolis Force)原理,用于测量角速度。它们广泛应用于导航、智能手机、游戏控制器等领域。
纳米机电系统(NEMS)是具有几纳米特征尺寸的系统,呈现出有趣且独特的特性,与其前身微机电系统(MEMS)相比有很大的不同,依然需要科学界深入的探索。
微机电系统(MEMS)是一种集成微型机械和电子器件的技术,其发展历史可以追溯到20世纪60年代以来。
无线射频通信领域的一个前沿课题是100GHz以上的频率,通常被称为太赫兹(THz)。主流研究包括D波段(110-170GHz),以及由IEEE 802.15.3d标准定义的更高频段(252-322GHz)。这些频率远远超出了今天Wi-Fi和5G标准中包含的最高毫米波频段。
砷化镓(Gallium Arsenide,GaAs)作为一种重要的半导体材料,具有优良的电学特性和高速电子运输能力,因此在半导体领域有着广泛的应用。
氮化铝(Aluminum Nitride,简称AlN)是一种重要的无机材料,具有优良的导热性、电绝缘性和化学稳定性,因此在电子器件、照明、散热器等领域有广泛应用。